單頻激光干涉儀sj6000自動(dòng)采集數(shù)據(jù)，避免人為讀數(shù)誤差，精度高；測(cè)量過(guò)程全自動(dòng)化，效率高；可測(cè)量任意方向的回轉(zhuǎn)軸，可測(cè)量任意角度間隔，通用性強(qiáng)；可自動(dòng)生成誤差曲線(xiàn)和補(bǔ)償數(shù)據(jù)，根據(jù)不同標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)計(jì)算定位精度結(jié)果，無(wú)需人工計(jì)算。

單頻激光干涉儀sj6000結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

性能特點(diǎn)

1.測(cè)量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

（1）使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

（2）以光波長(zhǎng)為測(cè)量單位，分辨率可達(dá)nm級(jí)

（3）使用高速光電信號(hào)采樣和處理技術(shù)，測(cè)量速度可達(dá)到4m/s。

（4）配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度

（5）分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測(cè)量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應(yīng)用范圍廣

（1）可以實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)

（2）結(jié)合軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析

（3）可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

（1）使用當(dāng)前熱門(mén)的軟件界面開(kāi)發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡(jiǎn)單。

（2）將靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量?jī)煞N功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶(hù)切換測(cè)量類(lèi)型。

（3）向?qū)讲僮?，流程清晰，更符合?guó)內(nèi)用戶(hù)的使用習(xí)慣。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

主要鏡組圖

其中，線(xiàn)性鏡組為標(biāo)配，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

線(xiàn)性測(cè)量功能

線(xiàn)性測(cè)量（線(xiàn)性軸位置精度測(cè)量的簡(jiǎn)稱(chēng)）配置主要由SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線(xiàn)性鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成，可滿(mǎn)足0~80m范圍內(nèi)的線(xiàn)性測(cè)量。其中，線(xiàn)性測(cè)量包括定位精度測(cè)量、重復(fù)定位精度測(cè)量和設(shè)備反向間隙測(cè)量等。

廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、線(xiàn)性位移平臺(tái)、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線(xiàn)性測(cè)量。

sj6000激光干涉儀具有高精度、高靈敏度、非接觸式測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)，集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，在計(jì)量領(lǐng)域中可作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、激光打標(biāo)/切割、三坐標(biāo)、影像儀、精密測(cè)量、自動(dòng)化、機(jī)器人、3D打印等領(lǐng)域。