單頻激光干涉儀sj6000自動采集數(shù)據(jù)，避免人為讀數(shù)誤差，精度高；測量過程全自動化，效率高；可測量任意方向的回轉(zhuǎn)軸，可測量任意角度間隔，通用性強(qiáng)；可自動生成誤差曲線和補(bǔ)償數(shù)據(jù)，根據(jù)不同標(biāo)準(zhǔn)自動計算定位精度結(jié)果，無需人工計算。

單頻激光干涉儀sj6000結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

性能特點

1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

（1）使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

（2）以光波長為測量單位，分辨率可達(dá)nm級

（3）使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達(dá)到4m/s。

（4）配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

（5）分離式干涉鏡設(shè)計，避免了測量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應(yīng)用范圍廣

（1）可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

（2）結(jié)合軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析

（3）可實時監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

（1）使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。

（2）將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

（3）向?qū)讲僮?，流程清晰，更符合國?nèi)用戶的使用習(xí)慣。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

線性測量功能

線性測量（線性軸位置精度測量的簡稱）配置主要由SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中，線性測量包括定位精度測量、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。

廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、線性位移平臺、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。

sj6000激光干涉儀具有高精度、高靈敏度、非接觸式測量等優(yōu)點，集光、機(jī)、電、計算機(jī)等技術(shù)于一體，在計量領(lǐng)域中可作為長度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、激光打標(biāo)/切割、三坐標(biāo)、影像儀、精密測量、自動化、機(jī)器人、3D打印等領(lǐng)域。